电【diàn】子显微分析是利用【yòng】聚焦电子束与【yǔ】试样物质相互作用产生各种【zhǒng】物理【lǐ】信号，分析试【shì】样【yàng】物质的微区形貌、晶体结构和化学组成【chéng】。
扫描电子显微【wēi】镜【jìng】的【de】制【zhì】造是依据电子与物质【zhì】的相互作用【yòng】。当一束高能的入射【shè】电子轰击物质表面时，被激【jī】发【fā】的区域将【jiāng】产生二次电子【zǐ】、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散【sàn】射电子、透射电子，以及在可【kě】见、紫外、红外光【guāng】区域【yù】产生的电磁辐射。同时，也可产生电子【zǐ】-空穴【xué】对【duì】、晶格【gé】振动 （声子）、电【diàn】子振荡 （等离子体）。原则上讲，利用电【diàn】子和物质【zhì】的相互作用【yòng】，可以获取【qǔ】被测样品本身【shēn】的各种【zhǒng】物理【lǐ】、化学【xué】性质的【de】信息，如形貌、组成、晶体结构【gòu】、电子结构和内部电场或磁场等等。
扫描电子【zǐ】显微【wēi】镜正是【shì】根据【jù】上述不同信息【xī】产生的机理，采用不同的信息【xī】检测器，使选择检测得以实【shí】现。如对二【èr】次【cì】电【diàn】子、背散射电子的【de】采集【jí】，可得到有关物质微观形貌的【de】信息；对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。