背散射电子衍【yǎn】射(Electron Backscattered Diffraction, EBSD)是一【yī】项在扫描电镜中【zhōng】获得样品结晶学信息的【de】新【xīn】技术【shù】。通过自【zì】动标定背散射衍射花样，测定大【dà】块样品表面（通常矩形区域内）的【de】晶体微区取向，此技术使块状【zhuàng】样品在观【guān】察【chá】显微组织形貌【mào】的同时还可以进【jìn】行晶体【tǐ】学数【shù】据分析。EBSD是当今材料特征分析的重【chóng】要工具，它可以【yǐ】用晶体取向图的【de】形式【shì】显示多【duō】晶材料的晶体取向和织构【gòu】。
       EBSD的主要【yào】应【yīng】用是取【qǔ】向和取向差异【yì】的测量、微织构【gòu】分析、相鉴【jiàn】定、应变和真实晶粒尺寸【cùn】的【de】测量。 归纳【nà】起来，EBSD技术具有以下四个【gè】方面的特【tè】点：(1)对晶体结构分析的精度已使EBSD技术成为一种继X光衍射和电子衍射后的一【yī】种微【wēi】区物相鉴定新方法；（2）晶【jīng】体取向分析功能使【shǐ】EBSD技术【shù】已【yǐ】逐渐【jiàn】成【chéng】为一【yī】种标准的微区织构分【fèn】析技术【shù】新方法；（3）EBSD方法所具有的高速（每秒钟可【kě】测定100个点）分析的特【tè】点及在样品上自【zì】动【dòng】线【xiàn】、面【miàn】分布采集数据【jù】点的特点已【yǐ】使该【gāi】技术在【zài】晶体结构及取向分析上既具有透射电镜【jìng】方法【fǎ】的微区分【fèn】析的特点又具有X光衍射（或中子衍射）对大面积【jī】样【yàng】品区域进行统计分析的特点；（4）EBSD样品制备也是【shì】相对【duì】简【jiǎn】单。

                         
                                                          SUPRA55场发射扫描电子显微镜
UPRA55热场发射扫描电子显微镜广【guǎng】泛用于冶金、生物【wù】、建【jiàn】筑、机械等行【háng】业【yè】的材料形貌观察和分析，如金属、半导体【tǐ】、陶瓷、高【gāo】分【fèn】子材料、有机聚合物等。本电【diàn】镜配备【bèi】有X射线能谱分析【xī】仪和EBSD 背散射电【diàn】子【zǐ】取向成【chéng】像系统。
EBSD探【tàn】测【cè】器【qì】空间分辨率：Al 0.1mm @20kV；平均角偏差<0.5
                                                 
LEO-1450扫描电镜及取向分析系统
1、  扫描电镜工作电【diàn】压【yā】200V~30KV；分辨【biàn】率3.5nm；5轴【zhóu】马【mǎ】达样品【pǐn】台【tái】，全计算机控【kòng】制；样品台移动范围：X：100mm；Y：125mm；Z：35mm，倾转对中；二【èr】次电子像，背散【sàn】射电【diàn】子像
2、  能谱仪【yí】（KevexSuperDry）电制冷超薄窗口探头；分辨率139eV（MnK2）；可分【fèn】析元素范围B~U；
3、  背散射取向分析系统【tǒng】EBSD（丹【dān】麦HKL Channel5），空间分辨【biàn】率0.1m；测【cè】定速度400个取向/秒。
对外服务项目：
能谱仪：可分析B、C、N、O等轻元素，进【jìn】行点【diǎn】、线【xiàn】、面分析【xī】；同时获取10个以上不同元素【sù】的【de】成分信息【xī】（线、面【miàn】分析时【shí】，用于成分分【fèn】析）。
各种晶体材【cái】料的结构【gòu】，取向的确定；取向成像，取向【xiàng】差【chà】，转轴分布，取向极图；反极图，ODF表示【shì】（用【yòng】于结构与取【qǔ】向【xiàng】分析也是本【běn】仪【yí】器设备的特色）。