原子力显微镜（atomic force microscope，简称AFM）利【lì】用【yòng】微【wēi】悬臂感受和放大悬臂上【shàng】尖【jiān】细探针与受测【cè】样品原子【zǐ】之间的作用力，从而达到检【jiǎn】测【cè】的目的，具有原子级的分辨率。由于原子力显微镜既可以观察导体，也可以观察非导体，从而弥补了扫描隧道显微镜的不足。
相对于扫描电子显微镜，原子力显微镜具有许多优点。不同于电子显微镜只能提供二维图像，AFM提供真正的三维表【biǎo】面【miàn】图。同时，AFM不需要【yào】对样品的任何特殊处理，如镀铜或碳，这种处【chù】理对样品会【huì】造成不可逆转【zhuǎn】的【de】伤害。第三，电子显微镜需要运行在高真空条件下，原【yuán】子力显微镜【jìng】在常压下甚至【zhì】在液体【tǐ】环【huán】境下都可以良好工作。这样【yàng】可以用来研【yán】究生物宏观分子，甚至活的生物组织。原子力显微镜与扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope）相比，由于能观测非【fēi】导【dǎo】电样品，因此具有【yǒu】更为广泛的适用性。当【dāng】前在【zài】科学研究和工业界广泛使【shǐ】用的【de】扫描力【lì】显微镜（Scanning Force Microscope），其基础就是原子力显【xiǎn】微镜【jìng】。
和扫描电子显微镜(SEM）相比，AFM的缺点在于【yú】成像范围太小【xiǎo】，速度慢，受【shòu】探头的影响【xiǎng】太大。


美国DI公司 原子力显微镜
使用自动化的原子力显微镜和扫描隧道显【xiǎn】微【wēi】镜技【jì】术，可测量直径可【kě】达200毫米的半导体硅片、刻蚀【shí】掩【yǎn】膜【mó】、磁介【jiè】质、CD/DVD、生【shēng】物材料、光学材料和其它样品的表面特性。

原子力显微镜研究对象可以是有机固体、聚合物以及生物大分子等，样品的载体选择范围很大，包括云母片、玻璃片、石墨、抛光硅片、二氧化硅和某些【xiē】生物【wù】膜等，其中最【zuì】常【cháng】用的是新剥离的云母片，主要原因是【shì】其非常平整且容易处【chù】理。而【ér】抛光硅【guī】片最好要【yào】用浓硫酸与30%双氧水的7∶3 混合液在90 ℃下煮1h。利用电【diàn】性能测试时【shí】需要导电性能良好的载体，如【rú】石墨或镀有金属的基【jī】片【piàn】。

试样的厚度，包括试【shì】样台【tái】的厚度，最【zuì】大为10 mm。如果试【shì】样过重【chóng】，有时会影响Scanner的动【dòng】作，请不要放过重的试样。试样的【de】大【dà】小以不大于试样台的大小（直径20 mm）为大致的标准。稍微大一点【diǎn】也没【méi】问题【tí】。但是，最大值约为【wéi】40 mm。如【rú】果【guǒ】未固定好【hǎo】就【jiù】进行测量可【kě】能产生移【yí】位。请固定好后再【zài】测定。